使用范圍:用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓片或者LED外延片
優(yōu)勢:
1、 瞬間加溫300攝氏度,持續(xù)加溫250攝氏度
2、真空無痕吸附
3、純度高,不含有鹵族元素,對半導(dǎo)體材料無污染
4、耐化學(xué)性腐蝕
5、高強(qiáng)度、耐磨損
6、可以升級為防靜電PEEK制作